Trong sản xuất thiết bị bán dẫn, các thiết bị yêu cầu phải đáp ứng những tiêu chuẩn nghiêm ngặt về độ tinh khiết và độ ổn định. Dịch vụ sơn phủ và lót của chúng tôi được thiết kế nhằm bảo vệ thiết bị xử lý khỏi sự ăn mòn hóa học, mài mòn bề mặt và hiện tượng bám dính không mong muốn, đảm bảo thiết bị hoạt động ổn định trong môi trường khắc nghiệt. Với hơn 20 năm kinh nghiệm, đội ngũ của chúng tôi vận hành trong các phòng sạch đạt chuẩn Class 1.000 và Class 10.000, chuyên xử lý các linh kiện dùng trong sản xuất hóa chất điện tử và polymer. Việc kiểm soát môi trường nghiêm ngặt giúp giảm thiểu ô nhiễm và đảm bảo lớp sơn phủ đáp ứng các yêu cầu về độ tinh khiết cho việc lưu trữ hóa chất và phản ứng hóa học. Kết quả đạt được: giảm phát thải ion kim loại, nâng cao độ nhất quán và kéo dài tuổi thọ của thiết bị sản xuất vật liệu dẫn điện.

• Chống ăn mòn
• Độ tinh khiết cao
• Bề mặt chống bám dính
• Kiểm soát tĩnh điện
• Ma sát thấp

• Trộn
• Lọc
• Sấy
• Xe bồn di động
• Bồn chứa
• Bộ phận vận chuyển và làm sạch wafer
• Tháp đệm
• Cột nhựa

Các thiết bị được dùng trong sản xuất bán dẫn như lò phản ứng, bể chuẩn bị, bộ lọc, bộ nâng thạch anh, yêu cầu lớp phủ bảo vệ bề mặt có khả năng chịu hóa chất và đáp ứng tiêu chuẩn độ tinh khiết cao. Chúng tôi cung cấp dịch vụ sơn phủ và lót bằng các vật liệu PFA, ECTFE (F30, Halar) và PVDF, với cấp độ tinh khiết đạt G2 đến G5. Tất cả quá trình sơn phủ được thực hiện trong phòng sạch chuyên dụng đạt chuẩn Class 1.000 được thiết kế cho các ứng dụng chất bán dẫn. Từ đó giúp hạn chế ô nhiễm và đảm bảo lớp phủ có chất lượng đồng đều, ổn định trên nhiều thiết bị.

Ví dụ về ứng dụng sơn phủ fluoropolymer

Bình chuẩn bị chất cảm quang
Được sơn phủ PFA có độ tinh khiết cao để đảm bảo hàm lượng ion kim loại dưới 1 ppb và ion vàng dưới 0.2 ppb. Có thể dùng PFA dẫn điện với điện trở suất 10⁻⁵ đến 10⁻⁹ Ω•cm và độ tinh khiết từ 10 ppb đến 1 ppb.

Bồn phản ứng PI (Polyimide)
Được sử dụng trong sản xuất vật liệu polyimide cho các ứng dụng chất bán dẫn. Các bồn này được phủ PFA tinh khiết cao để giảm thiểu ô nhiễm ion kim loại, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết như tổng kim loại dưới 1 ppb và ion vàng dưới 0.2 ppb.

Robot vận chuyển wafer
Được sơn phủ fluoropolymer độ sạch cao nhằm tránh nhiễm ion kim loại trong quá trình vận chuyển wafer. Lớp phủ có thể phủ lên nền gốm. Có sẵn các tùy chọn chống tĩnh điện để đáp ứng các nhu cầu bảo vệ ESD cụ thể.

Máy mài phẳng hai mặt có độ chính xác cao
Được dùng cho chất nền bán dẫn, bóng bán dẫn, quang học chính xác. Lớp sơn phủ PFA có độ tinh khiết cao được dùng cho các linh kiện chính để chống ăn mòn, chống nhiễm kim loại. Bền vững với axit, kiềm và dung môi hữu cơ.

Cánh tay gắp thạch anh
Bảo vệ thạch anh và các chất nền tương tự khỏi tiếp xúc với hóa chất, bao gồm axit hydrofluoric. Lớp phủ có đặc tính kỵ nước và kỵ dầu rất tốt, giảm thiểu ô nhiễm từ chất lỏng làm sạch. Thích hợp cho nhiệt độ từ -180°C đến 260°C.

Thiết bị đánh bóng wafer

Lò phản ứng tiêu chuẩn điện tử (lớp sơn phủ PFA có độ tinh khiết cao)

Lò phản ứng chất cảm quang (lớp sơn phủ PFA có tinh khiết cao)

Sơn phủ PFA cho thiết bị trùng hợp PI

Bể khuấy (lớp phủ PFA có độ tinh khiết cao)

Lớp phủ trong phòng sạch ISO cấp 5

Chúng tôi cung cấp dịch vụ sơn lót fluoropolymer  cho thiết bị sản xuất bán dẫn như thùng chứa di động, bể chứa đứng và ngang, thiết bị lọc.... Với các vật liệu như PFA, ECTFE, PVDF tđược dùng tùy theo yêu cầu quy trình, với độ tinh khiết đạt từ G3 đến G5. Toàn bộ quá trình sản xuất được diễn ra trong phòng sạch chuyên dụng, đảm bảo chất lượng và độ sạch cao trong suốt quá trình.

Ví dụ về ứng dụng sơn lót fluoropolymer

Lớp lót New-PTFE cho bồn lưu trữ axit hydrofluoric siêu sạch

Bồn được sơn lót PTFE để chứa hóa chất điện tử

Bồn phản ứng nitrogen trichloride có lót PFA

Sơn lót N-PTFE có tinh khiết cao cho bồn chứa di động

Sơn lót N-PTFE GBK cho bồn chứa axit sulfuric cấp điện tử

Vỏ lọc cartridge được lót bằng PFA cấp điện tử

Bể mạ nhiệt độ cao lót PFA